晶圆制造过程是半导体产业中至关重要的一环,且其生产流程复杂、精密,涵盖了多个高技术环节,因此为了使产品品质出色,确保电能质量的稳定性和可靠性很有必要。结合下面这篇文章,一起看看为什么说晶圆制造过程离不开电能质量检测吧。 晶圆制造使用了大量昂贵的高精密仪器设备,如光刻机、刻蚀机、CVD等,这些高精密生产设备很容易受电压暂降和市电断电影响,同时,晶圆生产的洁净室也需要持续稳定的电力供应以维持运行。因此,可靠、稳定、智能、绿色的电能质量检测是晶圆厂数字化高效运转的重要保障。
Fluke 1770系列三相电能质量分析仪使电能质量记录、故障排除和分析变得简单。1770系列的设计目标是实现更快速、更轻松的电能质量检测,并提供自动测量、直观用户界面和设置,出色的规格以及简化的报告平台。无论用户执行快速电能质量检测还是详细的电能质量研究,一致的数据都至关重要。Fluke 1770系列提供了独特的测量数据自动捕获系统,可帮助用户确保每次都能采集正确的数据,同时还能根据需要灵活选择和调整特定参数。此外,Fluke 1770系列还是2合1设备,能够将电能质量仪表的故障排除功能与独立电能质量分析仪的强大分析和记录功能相结合,形成一个易于使用的手持设备,以便快速完成检测并识别潜在问题。 晶圆制造过程对电能质量的要求极高,因此就需要应用一些电能质量检测设备及时发现问题,进而避免生产中的不必要损失。福禄克的电能质量检测仪能够帮助技术人员深入分析电力系统中的各种异常情况,感兴趣的朋友不妨在福禄克官网了解更多详细介绍。
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